硬氪首发 | 离子束装备商获超亿元融资，已批量导入光通信、核聚变、量子计算头部客户

硬氪获悉，中山市博顿光电科技有限公司（以下简称“博顿光电”）完成超亿元人民币B+轮融资，本轮投资方为毅达资本、中信建投资本、达武创投、友谊时光、南控基金，IO资本担任独家财务顾问。

该轮资金将用来引进高端人才、研发新产品，以及针对已经出现爆发趋势的重点行业领域，加快在综合解决方案、市场推广以及产能建设方面的投入速度。

博顿光电成立于2016年，是国家级“专精特新”小巨人企业。

公司专注于全国产自主可控离子源和离子束超精密工艺设备， 是业内唯一掌握核心部件离子源-离子束整机装备-应用工艺方案全链条核心技术并自研自制的企业。



（图源/企业）

在商业化落地上，博顿以精密光学、泛半导体、航空航天构成提供稳健现金流的业绩基本盘，同时凭借稀缺的卡位，成为了可控核聚变、光通信、量子科技等 前沿赛道的核心工艺设备“独家卖铲人” ，近年来，公司营收年增长率达50%以上。

比如当下狂飙的可控核聚变领域，博顿光电展现出了近乎100%市占率的统治力。

高温超导带材是实现高场强磁体的不可替代材料，而第二代高温超导带材（REBCO体系）的制备工艺中，采用IBAD（离子束辅助沉积）设备镀氧化镁种子层是不可绕过的关键工序， 博顿是目前国内唯一具备超导带材IBAD离子源及整套镀膜设备完整供货能力的厂商，已成功导入国内几乎所有高温超导带材企业。

在因AI算力需求爆发而引爆的光通信产业链，光模块正从800G向1.6T甚至3.2T快速演进。

光模块中的激光芯片、调制器件、探测器件、以及窄带滤光片、薄膜铌酸锂波导等无源光器件不仅需求量暴增，而且性能参数倒逼技术架构和加工工艺迅速升级。

博顿凭借IBS/IBD在薄膜超低损耗、光谱参数超高精度、超高耐受性能等方面的工艺优势，以及IBE/RIBE在铌酸锂等新型化合物材料高精度刻蚀方面的差异化能力， 已在光通信领域多家头部企业完成工艺导入与订单落地及设备交付。

在量子科技领域，量子计算、量子探测和量子通信中，超高精度的光电器件是应用落地的基石。

传统的半导体加工设备在材料体系适应性和极端指标上很多无法满足要求，比如元器件的原子级光滑度、超低损耗、超低吸收、折射率精准调控、特种表界面形貌处理等极端的参数与工艺要求下，必须大量使用离子束薄膜、刻蚀及修形工艺。

博顿光电分别以牵头单位和参与单位获批两项国家量子科技与仪器重大专项，以全自主离子束核心技术与产品赋能国家级科技任务攻关。

能快速导入前沿科技的头部企业，源于十年来博顿光电在技术方面的深耕。

离子束是当前最广泛应用的微纳加工技术手段之一，加工精度可以达到亚纳米甚至原子级超高精度，具有材料不受限、物理效应多、能量范围广、加工精度高、制造自由度灵活等特点，应用覆盖千行百业，市场空间可达数百亿元。

但其开发的技术与工艺应用壁垒极高，导致过去高端离子源及离子束设备的国产化率不足10%，亟待国产化突破。

博顿光电凭借多项国内首创的技术和产品打破了这一“卡脖子”困局，在多个关键领域实现了大批量国产替代。

以泛半导体领域为例，公司高性能离子源已成功实现滤波器芯片、多品类MEMS等细分场景的批量国产替代，已经通过了国外头部半导体设备厂家的严格工艺验证和供应商资格认定， 成为国内唯一进入半导体领域并获得客户持续复购的离子源厂商。

目前，博顿是国内市场占有率最高、产品品类最多、知识产权数量最多、应用场景最广泛、工艺应用案例最多的离子束设备供应商，且具备全链条商业化能力。

此外，博顿光电已获批承担四项国家级重大科技专项，承担近10项省市级科技计划项目并高质量通过验收。

博顿创始人冀鸣告诉硬氪，外界过去往往对离子束装备存在“技术极端、应用场景太细分”的印象，认为这是一个市场容量有限的狭窄赛道。

但产业的发展情况恰恰相反， 随着下游前沿产业对性能指标的要求逼近物理极限，离子束这种“原子级”的超高精度加工手段，逐渐变为“唯一必选项”。

随着核聚变商业化、AI光芯片等行业的爆发，离子束加工设备的需求量正在快速被唤醒和放大。

以下是对博顿光电创始人冀鸣的访谈节选：

硬氪：作为最核心的部件，离子源的技术壁垒高在哪里？为什么国内此前很难做好？

冀鸣： 离子源技术是一个非常系统化、跨多学科的综合体，看似细分，但随着下游指标要求变高，它在很多场景里变成了“必须且无可替代”的手段，市场体量增长非常迅速。

它的难点在于跨学科的深度耦合，包括材料、机械结构、等离子体物理、电子与电气控制、软件算法以及最后的应用工艺。

数学、物理、化学、机械、软件缺一不可。

就像很多领域国外垄断公司说的类似：即便我们把图纸放在这里，别人照着做也未必能做出来，因为里面有大量的工程化know-how，比如，其中很多部件需要用到特种材料和特种加工手段，包括特种电源和电气控制算法，这些全都是我们自主摸索的，现在已经深入到更底层的离子束仿真模拟，再深度结合多年的工程化经验积累，支撑着我们全系列离子源产品的自研自制。

硬氪：博顿的产品线从精密光学、泛半导体、核聚变到量子计算都有深入。博顿在切入这些不同行业时的底层发展逻辑是什么？

冀鸣： 专注离子束超精密设备与工艺，这是我们雷打不动的主线。

在纵向上，我们基于全自主的离子源开发离子束整机装备，并面向下游应用延伸开发工艺综合解决方案；

在横向上，我们持续研发各种品类的离子源和离子束超精密设备，全面覆盖镀膜、刻蚀及修形等工艺应用场景，跟随下游行业应用不断迭代和推出新产品。

离子束设备属于非常共性的基础设备。

在纳米级甚至原子级的超精密加工领域，它就像“工业母机”一样，是一个共性的加工设备，因此覆盖的行业领域非常多。

我们并没有去盲目追逐哪个行业的热点，只是把共性的技术和底层产品做好。

每个行业都有其发展周期，当某个行业的周期到了，我们就会针对该行业在应用场景和工艺指标上的具体差异，做针对性的产品化和解决方案去适应它。

硬氪：在这一轮融资后，博顿接下来在产品、研发和市场拓展上有什么新的具体规划？

冀鸣： 接下来我们主要在几个维度进行规划：在离子源层面，半导体领域中，我们的离子源已经进入了国外头部整机厂商的供应链，走替代欧美产品的逻辑。

此外，在先进封装的键合等领域我们做了很多技术储备，将推出新的品类。

可控核聚变领域，在高温超导带材领域，我们将持续投入以保持绝对领先的市占率。

离子束整机设备层面，在离子束薄膜沉积产品线，针对光通信、航空航天等需求暴增的领域，我们已经切入各行各业的头部客户，后续将加大工艺解决方案的提供和产品线扩展。

离子束刻蚀产品线方面，针对光通信、AR光波导等在未来2到3年即将进入批量应用阶段的领域，我们将继续加大研发和市场投入。

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